欢迎访问常州江苏大学工程技术研究院!

服务热线:13813651639

联系我们 中文 English
首页 > 科技成果

脆性材料激光超精密加工技术

发布时间:2021-08-10 阅读量:582

【项目背景】

脆性材料(如石英、玻璃、半导体材料等)因其独特的力学性能和电子学性能得到越来越多的应用,但脆性材料硬度大、塑性差,采用传统机械加工方法无法避免破碎、崩边、粉尘污染、工具损耗等问题,激光加工柔性高、无工具损耗、加工精度高,是解决脆性材料精密加工的最佳方案之一。本项目解决了激光与脆性材料相互作用原理、激光加工光路设计、激光光束整形等一系列问题,开发了脆性材料激光超精密加工技术。


【技术简介】

采用无衍射光束实现石英、玻璃等材料的超高精密切割,配合化学方法可实现各种封闭图形的自动分离;采用矢量打点技术可实现厚玻璃的小孔精密、高效加工技术;基于隐形切割原理实现碳化硅、硅等半导体材料的精密切割。


【技术优势

1)石英、玻璃等材料的切割精度高、崩边小(≦10μm),无粉尘污染,可实现任意封闭结构(典型尺寸≧1mm)的自动分离;(2)厚玻璃(最高可达10mm)小孔(典型尺寸≧1mm)加工精度高(崩边≦60μm),几乎无锥度;(3)碳化硅隐形切割无表面损伤,无粉尘污染,单面崩边≦10μm。


【应用场景】

航空、航天、汽车、电子、国防等需要使用石英、玻璃、碳化硅等脆性材料的场合。

【拟合作方式】

(1)提供技术咨询服务;

(2)针对石英、玻璃的超精密切割提供技术解决方案;

(3)针对厚玻璃小孔精密加工提供技术解决方案;

(4)针对碳化硅、硅的隐形切割提供技术解决方案。








联系我们

地址江苏省常州市武进区常武中路801号天润科技大厦B座8楼

电话13813651639(史晓艳)

邮箱1320084251@qq.com

网址www.czujs.cn